PARKER: 高品質(zhì)減壓閥 助力微電子制造
2022-06-13 09:56:18
集成電路制造的過程離不開各類不同純度、不同壓力、性質(zhì)各異的氣體參與。人們通過各種各樣的減壓閥來控制這些氣體壓力，如果說這些減壓閥是氣體控制零件中的皇冠的話，那么派克漢尼汾旗下的SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列超高純減壓閥就是這個皇冠上的明珠。
SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列減壓閥從誕生至今，始終致力于立足行業(yè)應(yīng)用的前沿領(lǐng)域。
● 它針對超高純應(yīng)用而設(shè)計，先進(jìn)的性能和規(guī)格使其非常適用于關(guān)鍵的半導(dǎo)體制造設(shè)備。
● MFC是影響集成電路制造的可重復(fù)性及良率的重要組件。SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列減壓閥能提供非常精準(zhǔn)和可靠的壓力控制，讓MFC(質(zhì)量流量計)的表現(xiàn)更加出色。
● 除此之外，它還在氣密完整性和顆粒物生成方面表現(xiàn)出色，這些對于減少半導(dǎo)體制程的污染至關(guān)重要。
那么，為什么SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列減壓閥有如此好的表現(xiàn)呢？
答案藏在細(xì)節(jié)之中：
首先，減壓閥本體材料采用超過SEMI F20 標(biāo)準(zhǔn)要求的VERICLEANTM 316L不銹鋼，閥門內(nèi)部為順滑流道結(jié)構(gòu)且經(jīng)過全電拋光處理。同時，閥門使用C-22哈氏合金作為膜片和閥芯的材料，聯(lián)動式閥芯設(shè)計使減壓閥內(nèi)部沒有螺紋和彈簧（螺紋和彈簧是閥門內(nèi)部顆粒物生成的主要原因）。如此一來，閥門在具備強(qiáng)大抗腐蝕能力的同時，顆粒物生成的可能性也非常低。
其次，聯(lián)動式結(jié)構(gòu)設(shè)計使得閥芯具備自中心功能，在不同氣流形態(tài)下能保持在中心位置，結(jié)合更薄更靈敏的哈氏合金膜片，可大幅縮短減壓閥的響應(yīng)時間，從而提高出口壓力的穩(wěn)定性。
最后，該系列減壓閥閥門體積經(jīng)過優(yōu)化，安裝空間更小，可有效縮小集成電路制造設(shè)備的體積，增加潔凈廠房的利用率。與此同時，減少閥門內(nèi)部空間，在一定程度上縮短設(shè)備吹掃和抽真空時長，提高工藝流程效率。
此外，派克漢尼汾的制造和測試流程也為SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列減壓閥的高品質(zhì)保駕護(hù)航：
在100級的潔凈室中完成組裝、測試、調(diào)試以及包裝
閥門通過氦檢漏測試，達(dá)到SEMI行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
閥門經(jīng)過出口壓力調(diào)試
SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列減壓閥還能提供眾多選項(xiàng)，以符合不同應(yīng)用需求：
不同的接口方式，包括Faceseal/Surface Mount
不同的流通能力， Cv值包括 0.06和0.15
不同材質(zhì)的核心部件，閥芯為 Hastelloy C-22，閥座為VESPEL，以應(yīng)對更嚴(yán)苛的應(yīng)用
如果您是集成電路制造設(shè)備的設(shè)計者，越早選用SQ2MICRO/SMSQ2MICRO系列減壓閥，將越早獲得成功。
